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Park Systems führt das Park NX20 300mm Forschung Rasterkraftmikroskop mit vollem 300-mm-Wafer Semiconductor Scan ein - stark verbesserte Produktivität


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Park NX20 300mm – erstes AFM zur Forschung auf dem Markt, der in der Lage ist, die gesamten Stichproben von 300 mm-Wafern mit Hilfe eines 300-mm-Vakuum-Spannvorrichtung zu scannen, während das System den Geräuschpegel unter 0.05 Nanometer hält.

"NX20 300mm greift auf den gesamten 300-mm-Wafer zu bei einer Anwendung mit niedrigem Geräuschpegel während der AFM-Messungen. Dies eröffnet ganz neue Möglichkeiten der Automatisierung auf einem 300-mm-Wafer", Keibock Lee, Park, Präsident.

 

Santa Clara, CA (USA) 3. August 2016

Park Systems, weltweit führender Hersteller von Rasterkraftmikroskopie (AFM) verkündete heute die Einführung des Park NX20 300mm, der erste und einzige Forschung AFM auf dem Markt, der in der Lage ist, die gesamten Stichproben von 300 mm-Wafern mit Hilfe eines 300-mm-Vakuum-Spannvorrichtung zu scannen, während das System den Geräuschpegel unter 0.5 Angstrom (0.05 Nanometer) hält. Das Park NX20 300mm System läuft unter dem SmartScan™, der neuen Betriebssoftware mit automatischer Scan-Kontrolle und kommt mit der "Batch"-Modus-Funktion, bei dieser der Benutzer Rezept-automatisierte und in einer unbegrenzten Anzahl von sequentiellen mehrere Vor-Ort-Messungen über die 300 mm x 300 mm vornehmen kann.

Die automatisierten Messungen über einen 300-mm-Wafer verbessert drastisch die Benutzerfreundlichkeit und Produktivität in den industriellen Labor-Einstellungen, wo Vergleiche innerhalb der Standort zu Standort und Probe-zu-Probenoberfläche Morphologie (Höhe, Messungen der Oberflächenrauheit) sind extrem wichtig.

"Heute werden eine große Anzahl von bis zu 300 mm Wafer und Substrate weltweit für die Entwicklung, Produktion und Fehleranalyse genutzt, aber bisher gibt es kein AFM-Messungsgerät, das den gesamten Bereich auf einer Fläche ganz genau messen kann und zugleich einfach programmieren kann, um mehrere Ortsmessungen mit einem Klick", berichtet Lee Keibock, Präsident von Park Systems.
NX20 300mm greift auf den gesamten 300-mm-Wafer zu bei einer Anwendung mit niedrigem Geräuschpegel während der AFM-Messungen. Dies eröffnet ganz neue Möglichkeiten der Automatisierung auf einem 300-mm-Wafer".

Park NX20 300mm ermöglicht AFM Untersuchungen und Messungen über den gesamten Stichproben-Bereich von 300 mm-Wafern mit einer vollen 300 mm x 300 mm motorisierten XY-Bühne, sodass das System auf jeder Position auf einer 300-mm-Wafer Zugang findet. Der NX20 300 mm ist das einzige Produkt, das eine 300-mm-Probe halten kann, im Gegensatz zu aktuellen Produkten auf dem Markt, wie beispielweise die Systeme der Konkurrenz, die Park ähnlich sind aber neben einer 300-mm-Probe Spannvorrichtung, muss der Benutzer 9 Mal laden, um Zugriff auf den gesamten 300-mm-Wafer zu erhalten, da der Bereich der motorisierten XY-Bühne beschränkt auf 180 mm x 220 mm ist.

Die Park NX20 300mm Standard Vakuum-Spannvorrichtung ist für die Aufbewahrung von Proben erstellt worden, um Proben in der Größe von 300 mm bis 100 mm durchzuführen. Zudem kann es auch kleine Farbmuster Proben von beliebigen Formen durch die Nutzung der Abzugshaube unterstützen.
Produkte auf dem Markt sind aktuell auf eine Stichprobengröße von 200 mm begrenzt und müssen auf die Zerstücklung der Probe vertrauen, um die geringe Geräuschentwicklung aufrecht zu erhalten. Diese fordert die Industrie, ist aber mühsam und macht die gemeinsame Nutzung von den AFM Systeme schwerfällig. Der neue Park NX20 ist die perfekte Lösung für gemeinsam genutzte Labore, bei denen die Muster in verschiedenen Größen kommen - klein und groß - weil es große wie kleine Muster-Proben unterstützt und ist mit allen Modi und Einstellungsoptionen verfügbar und kompatibel zur Ntzung mit allen anderen Park AFM Forschung -Produkten.

Park ist bekannt für Innovation von Messtechnik im Nanobereich und Gewinner des “Frost und Sullivan 2016 Global Enabling Technology Leadership Award“ für seine proprietären Technologien, wie z. B. die SmartScan OS und berührungslosen „Non-Contact“ Modus. Dadurch haben die Produkte eine bessere Anwenderfreundlichkeit, Effizienz und Genauigkeit, die einen Vorteil gegenüber konkurrierenden Lösungen mit sich bringt.

Diese Innovationen im AFM-Bereich haben es Park System möglich gemacht, sich eine breitere Kundenbasis aufzubauen.
Darunter fallen vor allem Forscher und Ingenieure, die somit die Möglichkeit haben, wissenschaftliche Erkenntnisse und technologische Fortschritte von Materialien, Halbleitern und Biowissenschaften durchzuführen.

"NX20 300mm ist ein weiterer Beweis dafür, das Park Systems fähig ist, die richtigen innovativen Produkte herzustellen, für eine schnell-wachsende Halbleiter-Industrie, für die der „Status quo“ heutzutage nicht ausreichen ist und in dieser neuen Ära der Nanotechnologie Fortschritte" benötigt wird, sagt Frost & Sullivan Industry Analyst Mariano Kimbara.

Seit 1997 hat Park Systems bedeutende Innovationen zu ihren ursprünglichen AFM Design hinzugefügt, um Imaging Methoden zu revolutionieren sowie die Verbesserung der Benutzerfreundlichkeit. Dies sind nur einige Resultate für ihren ungezügelten Erfolg.
Park Systeme hält 32 Patente im Zusammenhang mit AFM-Technologie, einschließlich echtes berührungslosen Modus™ mit entkoppeltem XY- und Z-Scanner, PTR-Messungen von HDD Anwendungen und NX-Bio-Technologie mit der Nutzung von Scanning Ion Conductance Microscopy (SICM) an lebenden Zellen, 3D-AFM und der vollständige automatisierten AFM Betriebssoftware (SmartScan™). SmartScan voll automatisiertes AFM Imaging macht es sehr einfach für jedermann, um ein Bild mit einer Auflösung von einer Probe im Nanobereich durchzuführen und vergleichbar von der Klarheit mit den Aufnahmen eines Experten.

Park Systems hat eine vollständige Palette von AFM-Systemen und bietet Lösungen für Forscher und Ingenieure aus der Industrie mit einem breiten Spektrum von Disziplinen wie Chemie, Material, Physik, Biowissenschaften, Halbleiter- und Speicherung von Daten. Von Tausenden von den bedeutendsten Wissenschafts- und Forschungseinrichtungen weltweit sind sie ein innovativer und anerkannter Partner im Bereich der nanoskaligen Technologien.

Über Park Systems
Park Systems ist einer der weltweit führenden Hersteller von Atomic Force Microscopy (AFM) Systemen mit einer kompletten Palette von Produkten für Forscher und Ingenieure aus der Industrie, Chemie, Material, Physik, Biowissenschaften, Halbleiter- und Speicherung von Daten. Die Produkte von Park werden von über tausend von Institutionen und Unternehmen weltweit genutzt. Die AFM Produkte bieten höchste Genauigkeit bei der Auflösung Daten im Nanometerbereich, höchste Produktivität und niedrigste Betriebskosten dank seiner einzigartigen Technologie und innovativer Technik.

Park Systems, Inc. hat seinen Hauptsitz in Santa Clara, Kalifornien, mit seinem globalen Produktions- und R&D-Hauptsitz in Korea. Die Produkte werden weltweit vertrieben und unterstützt mit einem jeweiligen regionalen Hauptsitz in den USA, Korea, Japan und Singapur. Zudem haben sie ihre Vertriebspartner in Europa, Asien und Amerika.
Für weitere Informationen besuchen Sie Park Systems Webseite http://www.parkafm.com oder rufen Sie an, unter: +001 408-986-1110.